羅茨泵

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JZJS羅茨泵水環(huán)泵真空機(jī)組

JZJS型機(jī)組主要是由二大部分組成，即泵部分（抽氣部分）和電源控制部分，JZJS三級(jí)機(jī)組的泵部分是由兩臺(tái)羅茨真空泵和一臺(tái)雙極水環(huán)式真空泵三級(jí)串聯(lián)而成，其中雙極水環(huán)泵叫做前級(jí)泵，與被抽容器相聯(lián)的羅茨真空泵叫做主泵級(jí)，與前級(jí)和主泵級(jí)相聯(lián)的一級(jí)羅茨真空泵叫做中間級(jí)，如果去掉中間級(jí)羅茨真空泵，就構(gòu)成JZJS二級(jí)機(jī)組。三級(jí)機(jī)組的極限真空可比二級(jí)機(jī)組的極限真空提高一個(gè)數(shù)量級(jí)而進(jìn)入25Pa或更高。

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